O fósforo é uma importante fonte dopada do tipo n na fabricação de dispositivos semicondutores, e também é usado na deposição de vapor químico de polissilício, material GaP epitaxial, processo de implantação iônica, processo MOCVD, preparação de filme de passivação de vidro de silício fosforoso (PSG) e outros processos.
Misturador
Nome químico | Fosfina | Hidrogênio |
CAS No. | 7803-51-2 | 1333-74-0 |
ONU No. | 1954 |
Palavra-sinal: Perigo
Propriedades físicas e químicas
Estado físico: Gás.
Aparência: Incolor.
Odor: Repulsivo.
Limite de odor: 0.51 ppm (PH3)
Temperatura de autoignição: 38 °C / 100 °F (fosfina)
Fatal se inalado
Causa queimaduras na pele e lesões oculares graves
Gás extremamente inflamável
Pega fogo espontaneamente se exposto ao ar
Contém gás sob pressão; pode explodir se aquecido
Pode formar misturas explosivas com o ar
Os sintomas podem demorar
Mantenha longe do calor, faíscas, chamas abertas, superfícies quentes.
Proibido fumar
Não respire gás.
Use e armazene apenas ao ar livre ou em local bem ventilado
Use luvas de proteção, roupas de proteção, proteção para os olhos, proteção respiratória e/ou proteção facial
Use um dispositivo preventivo de refluxo na tubulação
Use equipamento purgado com gás inerte ou evacuado antes da descarga do cilindro
Use apenas com equipamentos de materiais de construção compatíveis e classificados para pressão do cilindro
Não abra a válvula até que esteja conectada ao equipamento preparado para uso
Feche a válvula após cada uso e quando estiver vazia
Ao retornar o cilindro, instale a tampa de saída da válvula à prova de vazamento ou plugue
Proteja da luz solar quando a temperatura ambiente exceder 52°C/125°F
Armazenar em área fresca, seca e bem ventilada de construção não combustível, longe de
áreas de tráfego e saídas de emergência.
Mantenha em temperaturas abaixo de 52°C / 125°F.
Os cilindros devem ser armazenados na vertical com a tampa de proteção da válvula no lugar e firmemente presas para evitar quedas.
Cilindros cheios e vazios devem ser segregados.
Use um sistema de estoque "primeiro a entrar, primeiro a sair" para evitar que cilindros cheios sejam armazenados por períodos excessivos de tempo.
Os recipientes armazenados devem ser verificados periodicamente quanto à condição geral e vazamentos.
Armazenamento externo ou separado é o preferido.
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