A fórmula química do trifluoreto de nitrogênio é NF₃. É um gás incolor, inodoro e estável à temperatura normal. É um oxidante forte. O trifluoreto de nitrogênio de alta pureza tem excelente taxa de corrosão e seletividade, e também é um agente de limpeza muito bom. A Jinhong pode fornecer gás trifluoreto de nitrogênio de alta pureza para melhorar seu processo de semicondutor.
azoto trifluoreto é preparado pela fluoração direta de amônia. Também pode ser obtido por eletrólise de bifluoreto de amônio fundido ou por combinação direta dos elementos nitrogênio e flúor usando uma descarga elétrica a baixas temperaturas.
| Gas | Trifluoreto de nitrogênio |
| CAS No. | 7783-54-2 |
| Pureza | 99.99% |
O trifluoreto de nitrogênio é usado como um decapante seletivo de alta velocidade no processamento de silício. Tem sido usado para gravar silício, polissilício, nitreto de silício e óxido de silício, bem como metais refratários e silicetos.
O trifluoreto de nitrogênio às vezes é usado como fonte de flúor em lasers químicos HF/DF. O trifluoreto de nitrogênio é usado como agente fluorante. O trifluoreto de nitrogênio também é usado para o tratamento de fibras.
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